
作为Dektak系列的旗舰升级款,Dektak Pro凝聚布鲁克55年技术创新,将接触式测量的性能推至全新高度。核心精度:垂直分辨率1Å,台阶高度重复性稳定优于4Å,数据精准度与重复性比肩实验室顶级标准。
搭载直驱扫描台与Vision64智能软件,自动台阶检测减少人为误差,2D/3D形貌、应力、晶圆翘曲一键分析。硬件兼容:支持200mm(8英寸)样品,扫描长度达55mm,凭借可达200mm;可选N-Lite+精微力传感器,0.03mg超低探针力适配薄膜、软材料,杜绝表面损伤。
从半导体晶圆、光学镀膜、显示面板,到MEMS器件、生物材料与质检,Dektak Pro以高精度、高效率、高兼容,成为前沿研发与工业量产的标配之选。
Dektak Pro 特点综述:
1. 布鲁克Dektak Pro,55年积淀,纳米级轮廓测量金标准
2. 精度致胜,效率为先,Dektak Pro探针式台阶仪,定义精密测量新高度
3. 从研发到量产,一仪掌控Dektak Pro,半导体/材料科学的微米级慧眼
第十一代旗舰,4Å重复性,200mm大样品兼容,一键式智能分析
核心点:
• ✅ 55年技术积淀,行业金标准
• ✅ 4Å重复性,1Å垂直分辨率
• ✅ 200mm大样品台,适配8英寸晶圆
• ✅ 0.03mg超低探针力,无损测量
• ✅ 直驱扫描+智能软件,高效省心
• ✅ 半导体/光学/MEMS/材料科学全适配
Dektak Pro精测入微,智控全局。
布鲁克Dektak Pro——每一次测量,都为精准而生。
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