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布鲁克Dektak Pro:第十一代探针式轮廓仪,重新定义精密测量的精度与效率
作为Dektak系列的旗舰升级款,DektakPro凝聚布鲁克55年技术创新,将接触式测量的性能推至全新高度。核心精度:垂直分辨率1Å,台阶高度重复性稳定优于4Å,数据精准度与重复性*实验室顶级标准。搭载直驱扫描台与Vision64智能软件,自动台阶检测减少人为误差,2D/3D形貌、应力、晶圆翘曲一键分析。硬件兼容:支持200mm(8英寸)样品,扫描长度达5......
等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材......
X射线光电子能谱分析X射线光电子能谱法(X-rayPhotoelectronSpectrom-----XPS)在表面分析领域中是一种崭新的方法。虽然用X射线照射固体材料并测量由此引起的电子动能的分布早在本世纪初就有报道,但当时可达到的分辩率还不足以观测到光电子能谱上的实际光峰。直到1958年,以Siegbahn为首的一......
优势一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的,不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率;二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害,同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。......
等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性......
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