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布鲁克Dektak Pro:第十一代探针式轮廓仪,重新定义精密测量的精度与效率
作为Dektak系列的旗舰升级款,DektakPro凝聚布鲁克55年技术创新,将接触式测量的性能推至全新高度。核心精度:垂直分辨率1Å,台阶高度重复性稳定优于4Å,数据精准度与重复性*实验室顶级标准。搭载直驱扫描台与Vision64智能软件,自动台阶检测减少人为误差,2D/3D形貌、应力、晶圆翘曲一键分析。硬件兼容:支持200mm(8英寸)样品,扫描长度达5......
台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信......
优势一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的,不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率;二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害,同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。......
纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试,测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出,无需通过显微镜观察压痕面积.主要应用半导体技术(钝化层、镀金属、BondPads);存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层);金属蒸镀层;防磨损涂层(TiN,......
等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材......
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